Synthesis and Surface Engineering of Complex Nanostructures by Atomic Layer Deposition

Mato Knez; Kornelius Nielsch; Lauri Niinistö

Năm xuất bản2007

Nguồn học thuậtAdvanced Materials

Định danhDOI 10.1002/adma.200700079

TRÍCH DẪN ĐỀ XUẤTAPA 7

Mato Knez; Kornelius Nielsch; Lauri Niinistö (2007). Synthesis and Surface Engineering of Complex Nanostructures by Atomic Layer Deposition. Advanced Materials, 19(21), 3425-3438. https://doi.org/10.1002/adma.200700079

Thông tin thư mục

Nguồn/Tạp chí: Advanced Materials
Tập: 19
Số: 21
Trang: 3425-3438
Nhà xuất bản: Wiley
DOI: 10.1002/adma.200700079 ↗

Từ khóa

Atomic layer deposition; Materials science; Nanotechnology; Nanomaterials; Nanostructure; Nanowire; Silicon; Silicon nanowires; Nanopore; Layer (electronics); Deposition (geology); Surface modification; Chemical engineering; Optoelectronics