Auger electron spectroscopy and capacitance-voltage investigation of the AlN-Si interface

A.G. Abdullayev; S.K. Khanjanov; G.N. Kasimova; T.G. Fufayeva

Năm xuất bản1987

Nguồn học thuậtThin Solid Films

Định danhDOI 10.1016/0040-6090(87)90433-0

TRÍCH DẪN ĐỀ XUẤT

A.G. Abdullayev; S.K. Khanjanov; G.N. Kasimova; T.G. Fufayeva (1987). Auger electron spectroscopy and capacitance-voltage investigation of the AlN-Si interface. Thin Solid Films, 146(3), 265-272. https://doi.org/10.1016/0040-6090(87)90433-0

Thông tin thư mục

Nguồn/Tạp chí: Thin Solid Films
Tập: 146
Số: 3
Trang: 265-272
Nhà xuất bản: Elsevier BV
DOI: 10.1016/0040-6090(87)90433-0 ↗